影響臭氧發生器的使用效果因素有很多，臭氧發生器產生臭氧濃度、微生物種類、溫度、濕度都會影響到臭氧發生器的使用效果。其中溫度和濕度對效果的影響較大。

　　影響臭氧濃度的主要因素有：

　　1、臭氧發生器的結構和加工精度;

　　2、冷卻方式和條件;

　　3、驅動電壓和驅動頻率;

　　4、介電體材料;

　　5、原料氣體中氧的含量及結凈和干燥度。臭氧產量是指臭氧發生器單位時間內臭氧的產出量;臭氧濃度數值與進入臭氧發生器總氣量數值的乘積即為臭氧產量;通常使用mg/h,g/h,kg/h這些單位表示。標準中規定規格型號使用臭氧產量表示和區分。

　　常溫下，臭氧的分解時間為20分鐘左右;溫度越高，臭氧越容易分解。而濕度對臭氧的分解速度影響則相反，濕度越大，效果越好，原因是濕度高的情況下，細菌細胞膨脹，更容易被臭氧溶解。所以，許多人在使用臭氧消毒時，會往地上灑一些水，以保證臭氧殺毒的良好效果。